真空泵

前級真空泵
		渦卷式干泵 專為潔凈的無油系統設計。抽氣范圍從大氣壓至10-2毫巴。
		機械泵 包括最新型的Smart泵，抽氣范圍從大氣壓到2×10-3毫巴。
高真空和超高真空泵
		擴散泵大抽速，高排氣量，適用于10-1——10-8毫巴。
		分子泵機電一體化的設計，具有前級耐壓高的特性。適用于10——10-10 毫巴。
		離子泵是用于超高真空范圍的真空泵,二極離子泵，三極離子泵和復合離子泵適用于10-4——10-11毫巴。

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